概述

電子氣體是發展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料制造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料，它被稱為電子工業的“血液”和“糧食”，它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確性和準確性。

常見電子工業用氣體檢測項目

《電子工業用氣體?氮》：氮氣純度、氧含量、氫含量、一氧化碳含量、二氧化碳含量、總烴含量、水含量、雜質總含量

《電子工業用氣體?氬》：氬氣純度、氧含量、氫含量、氮含量、一氧化碳和二氧化碳含量、總烴（以甲烷計）含量、水分含量、雜質總含量

《電子工業用氣體?氦》：氦氣純度、氧含量、氮氣含量、一氧化碳和二氧化碳含量、總烴（以甲烷計）含量、水分含量、雜質總含量

檢測標準

GB?T?16944-2009?電子工業用氣體?氮

GB?T?16945-2009?電子工業用氣體?氬?

GB?T?16943-2009?電子工業用氣體?氦?

GB?T?16942-2009?電子工業用氣體?氫??

GB?T?14604-2009?電子工業用氣體?氧?

GB?T?18994-2014?電子工業用氣體?高純氯?

GB?T?34085-2017?電子工業用氣體?三氟甲烷?